某光电器件制造技术品牌因晶圆冲洗繁琐流程诞生含氨污废水 ,出水量200吨/天。污废水 中除氯离子外还含氟化物和轻微高价属,操作難度大。各地尾气废气排放标准化标准化要氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废气部分及种类
晶圆拆洗废渣(关键的来源):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工作工业废水:含进样器铜、镍等天价属,pH值起伏较大大
CMP机磨焦化废水:含硅颗料及氟化物
加工生产技术具体步骤
采用了"药剂学凝固+膜转移+折点氯化"整合工艺设计:
预净化处理
:加药CaCl2除氟,操作pH在7.5-8.
超滤膜系统性
:消除0.01μm之上粒子物
反融入原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖
:将挥发酚高浓至1000mg/L之内
折点氯化
:精准操纵氯添加量,将化学需氧量被转化为惰性气体
铁离子对换
:的保障巨资属未达标
后面的效果
氧化还原电位比较稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属硫含量不超的检测限
水使用率达75%
污泥干化制造量才能减少40%