该厂为8厘米晶圆生产方式线配套设施的超纯净水模式，每一天产生了含硅废水正确处理方法150吨。废水正确处理方法中虽无血本属，但硅浓度高易结渣，且热敏电阻率需达标18MΩ·cm能够回收利用。原本正确处理工学院艺没有办法满意新颁发的《光电子鑫霖环保水环境破坏物排污规范标准》（GB39731-2020）尤为排污规定值。 污水组成成分优势 基本影响物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度0.1-1μm） 个性化规定 ：TOC<10μg/L，硼含磷量<5μg/L 水源性 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物形状错综复杂 清理生产工作流程图 全新分为"梯级膜分离出来+电去亚铁离子"搭档生产技术： 微滤预加工处理 ：1μm瓷质膜阻拦大颗粒物硅，通量维护80LMH 正离子交流环氧树脂 ：D201大孔光敏树脂确定性吸附性硅酸碳原子 中级RO装置 ：首先段二手回再回收率60%，第一段利用高脱硼膜pcb板 EDI电去铝离子 ：感应电流导热系数2A/m²，持续性快速清理稳定度阴阳离子 UV紫外线除菌 ：254nm紫外光线含量40mJ/cm² 新技术短板 开放用阻硅剂（生产胺类分手后复合物），减缓膜的污染的周期3倍 EDI模块图片不断创新流道设计的概念，硅去掉率增强至99.8% 线上硅概述仪（测试标准0.1-500μg/L）体现精细调整 作业初步成效 经然后方查测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼浓度从8μg/L低于0.3μg/L 系统性环保再生资源回成品率从原40%改善至68% 膜撤换周期性提升至5年，年执行成本价降低35%