某半导体器件厂在生育操作过程中操作盐酸系成像液，发生高盐浓度含NOx废水处置方法，日处置量50吨。废水处置方法中含NO2-可高达2000mg/L，且含带氢化物发生器生产光刻胶组分，处置困难程度比较大的。 2. 废水处理工艺化学物质及源 成像制作工艺残液（大部分造成的大气污染） 晶圆的清洗废污水 工业废气洗涤剂塔排水性 3. 治理技术环节 应用"层级被氧化+两极生态学整理"革新加工： 臭氧老化腐蚀 ：借助三氧会形成器形成O3，将难挥发有机物分解的为小分子式物资，同时将NO2-腐蚀为NO3-。 生物体膜的流化床反应器（MBR） ： 第一点级：乏氧生态下添加甲醇对于碳源，加快反反硝化细菌反應 二是级：好氧生物学膜进的一步挥发生物碳物 电生物淬硬层工作 ：使用钛基铝层电极材料，凭借电解抛光意义徹底化解残余物水工业废气。 4. 决定目的 NOx总氮减至8mg/L下述 COD安全稳定在30mg/L三岁 工业废水回收率达60% 系统化运转耗能保持在3.5kWh/吨水，较中国传统艺节能减排20%。